原子力顯微鏡與光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡等競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)的主要區(qū)別在于原子力顯微鏡不使用透鏡或光束照射。 因此，它不會(huì)因衍射和像差而受到空間分辨率的限制，并且不需要準(zhǔn)備用于引導(dǎo)光束(通過(guò)產(chǎn)生真空)和對(duì)樣品 染色的空間。

　　掃描顯微鏡有幾種類型，包括掃描探針顯微鏡(包括AFM、掃描隧道顯微鏡(STM)和近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡(SNOM/NSOM)、STED顯微鏡(STED)，以及掃描電子顯微鏡和電化學(xué)原子力顯微鏡EC-AFM)。盡管SNOM和STED使用可見光、紅外線甚至太赫茲光照射樣品，但它們的分辨率不受衍射極限的限制。